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技術(shù)文章

基于石墨烯的MEMS金屬管浮子流量計

發(fā)布日期:2019-12-11  來源:  作者:  瀏覽次數(shù):
【導(dǎo)讀】:金屬管浮子流量計的有效尺寸只有一個原子,由石墨烯膜組成,該石墨膜懸掛在下層基板的溝槽中,代表了有史以來最薄的機械諧振器。這些設(shè)備可以在兆赫茲范圍內(nèi)的頻率上進(jìn)行光學(xué)或電子操作,從而為設(shè)計人員和工程師提供了通用的傳感解決方案。......
    石墨烯因其低密度和高強度而成為用于納米機電系統(tǒng)(NEMS)應(yīng)用的理想材料;瘜W(xué),生物和物理流量計是NEMS表現(xiàn)出比競爭技術(shù)高得多的靈敏度的應(yīng)用示例。
 
    石墨烯流量計和NEMS的占地面積小,導(dǎo)致人們對醫(yī)療和遙感應(yīng)用的興趣日益增加。
 
    NEMS石墨烯膜的初步研究
    用于NEMS的石墨烯膜的研究始于2000年代后期,由康奈爾大學(xué)的Paul McEuen領(lǐng)導(dǎo)的研究小組發(fā)布了一些非常好批論文。那些非常好批流量計表現(xiàn)出亞微電子敏感性,可以檢測出電荷中非常微小的變化。
 
    金屬管浮子流量計的有效尺寸只有一個原子,由石墨烯膜組成,該石墨膜懸掛在下層基板的溝槽中,代表了有史以來非常薄的機械諧振器。這些設(shè)備可以在兆赫茲范圍內(nèi)的頻率上進(jìn)行光學(xué)或電子操作,從而為設(shè)計人員和工程師提供了通用的傳感解決方案。
 
    石墨烯質(zhì)量和溫度流量計的研究
    經(jīng)過這些非常初的突破,哥倫比亞大學(xué)的研究小組通過生產(chǎn)石墨烯質(zhì)量和溫度流量計擴大了研究范圍。
 
    2013年,瑞典KTH的Max Lemme及其同事發(fā)表了他們的開創(chuàng)性研究成果,該研究成果是基于石墨烯的金屬管浮子流量計的開發(fā),該流量計高度敏感且占地面積小。
 
 
金屬管浮子流量計.jpg
 
    在非常近的論文中,Lemme團隊展示了石墨烯NEMS流量計比競爭技術(shù)優(yōu)越的壓力感測能力。通過在二氧化硅襯底上切開溝槽,然后在溝槽上沉積石墨烯片來制造石墨烯流量計。石墨烯像鼓膜一樣自由地懸浮在溝槽上方(圖2)。該流量計的截面積僅為65 x 6 µm。
 
    為了測試流量計,修改了周圍大氣的壓力;然而,由于石墨烯片對空氣的不滲透性,鼓內(nèi)部的壓力保持不變。感光鼓及其周圍之間的壓力梯度會產(chǎn)生與壓力成比例的力,從而導(dǎo)致石墨烯片膨脹至200 nm。
 
    石墨烯片的膨脹是通過納米材料的壓電特性確定的。該壓電特性引起應(yīng)變下的電阻變化。壓力的增加導(dǎo)致電阻的減小,這反過來又增加了電流。
 
    這種基于石墨烯的NEMS金屬管浮子流量計的壓力靈敏度為4 µV / V / mmHg。與標(biāo)準(zhǔn)的基于硅或碳納米管的微機電流量計(MEMS)相比,這種新型流量計每單位面積的靈敏度為2到10倍。
 
    給定對靈敏度的特定要求,與傳統(tǒng)流量計相比,可以將石墨烯流量計按比例縮小到更小的占地面積。該技術(shù)采用常規(guī)的CVD石墨烯和Graphenea開發(fā)的石墨烯轉(zhuǎn)移工藝。
 
    結(jié)論
    這些研究結(jié)果表明,石墨烯NEMS流量計的前景廣闊,并有能力成為現(xiàn)有流量計技術(shù)的重要競爭對手。金屬管浮子流量計廣泛用于控制和監(jiān)視各種日常應(yīng)用中的操作,例如汽車感應(yīng),航空航天和天氣監(jiān)視。阿基于石墨烯的金屬管浮子流量計是用于航空航天領(lǐng)域尤其有利的,因為該裝置的超小型。
 
    關(guān)于石墨烯
    Graphenea是滿足工業(yè)和研究需求的kao_qian石墨烯生產(chǎn)商。石墨烯已開發(fā)出kao_qian的合成和轉(zhuǎn)移工藝,可在任何基材上獲得高均勻性的單層石墨烯薄膜。

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