亞利桑那州圖森市擴(kuò)展其快速響應(yīng)流量?jī)x表產(chǎn)品，Alicat Scientific增加了高壓質(zhì)量流量計(jì)和相應(yīng)的高壓金屬管浮子流量計(jì)系列。MQ系列儀表和MCQ系列金屬管浮子流量計(jì)可在高壓系統(tǒng)中運(yùn)行，非常高可達(dá)320 PSIA（22 bar）。新產(chǎn)品可確保精確穩(wěn)定的系統(tǒng)性能，傳感器響應(yīng)速度為10 ms，控制器響應(yīng)時(shí)間小于100 ms。

 

多變量MQ系列流量計(jì)和MCQ系列金屬管浮子流量計(jì)可測(cè)量質(zhì)量流量，體積流量和壓力。因此，可以設(shè)置控制器用于質(zhì)量流量的閉環(huán)控制，同時(shí)還報(bào)告壓力或壓力的閉環(huán)控制，同時(shí)還報(bào)告質(zhì)量流量。每臺(tái)儀器都配有NIST可溯源校準(zhǔn)證書，證明了滿量程精度的2％。

 

儀器預(yù)裝了多達(dá)98個(gè)車載氣體校準(zhǔn)裝置。Alicat內(nèi)置的COMPOSER™氣體混合軟件可用于使用標(biāo)準(zhǔn)氣體列表組成多達(dá)20種定制混合物。氣體類型的變化幾乎不影響精度，并且自動(dòng)重新校準(zhǔn)滿量程閥門范圍以保持吞吐量范圍。

 

金屬管浮子流量計(jì)提供多變量接口顯示，以及每臺(tái)儀器上數(shù)據(jù)豐富的串行和模擬連接，可用作獨(dú)立設(shè)備或響應(yīng)式集成系統(tǒng)組件。數(shù)字（RS-232，RS-485，Modbus）和模擬（0-5v，0-10v，4-20mA）通信均可定制，以適應(yīng)各種非常終用戶應(yīng)用。Alicat提供NPT，SAE，下行和NeSSi過程連接。閥門類型和孔口尺寸的選擇允許配置產(chǎn)品以獲得非常佳速度和穩(wěn)定性。

Alicat MCE和MCV精確控制氣體流速低至0-0.5 sccm滿量程或高達(dá)0-20 slpm滿量程，控制響應(yīng)時(shí)間為50至100毫秒�？焖夙憫�(yīng)時(shí)間可以大大改善真空鍍膜終端產(chǎn)品，并有助于消除目標(biāo)中毒。集成的氣動(dòng)截止閥通常是關(guān)閉的，可提供1 x 10-9 atm-sccm / sec的非常大氦氣關(guān)閉。

 

MCE可以替代傳統(tǒng)的MKS 1179A型Mass-Flo®，而MCV則可以取代已停產(chǎn)的MKS 2179A型Mass-Flo®。金屬管浮子流量計(jì)采用通用12-30 VDC電源供電，Alicat將匹配9針或15針D-sub連接器上任何預(yù)先存在的針腳，便于更換。這些裝置可以任何方向安裝，甚至可以倒置安裝，無(wú)需重新校準(zhǔn)，從而進(jìn)一步簡(jiǎn)化了安裝。